型。

模型上的每一个部件都被标注了编号，整台光刻机的内部结构以剖面方式显示，清晰标注了曝光系统、光学镜组、精密运动平台等主要子系统的空间位置和连接关系。

“刚度系数调高百分之三十，会不会影响其他子系统的共振频率？”

苏工调出另一张频谱图：“已经算过了。调整之后的光学系统基频会从四十二赫兹上移到四十八赫兹，这个频率不会和周边其他干扰源的频段发生重叠，不会对关键子系统产生明显影响。”

“好。把最终的刚度参数发给陈工，让他的路径规划算法在计算底座系统响应的时候同步更新。”

苏工点了点头，在键盘上敲了几下，把调整后的参数保存到共享文件里。

当天傍晚，许锋站在施工区域边缘，看着东西两侧同时推进的进度。

研究中心楼体已经起了近十米高，厂区的钢结构框架正在成型。

龙王从工地那边走过来：“今天怎么样？”

许锋收回视线：“还行。赵明远那边材料配方有进展了，孙国栋的冷却系统管路设计也基本定了。光刻机专家的方案对接也确认了。”

龙王站在他旁边：“那就好，一步一步往前走。”